净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,阻力增大,为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时,为使风机空载启动,则需将风机出口处风阀关闭,风机启动后,因风阀上承受很压力,开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后,送风量的调节会变十分容易,送风压力稳定。这些监控装置可设计成单个系统的测量,控制系统,也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时,电加热器会继续送电加热,造成设备损坏甚至发生火灾,为避免这种情况的出现,应设置无风以及超温断电的保护。
空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。
洁净厂房使用验收后,应编写使用验收报告,其主要内容有:
1.洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;
2.测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;
3.分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);
4.测试仪器的有效校验证书;
5.验收出具相关结论。
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